OMRON 액면 레벨 센서 EE-SPX613
다기능 타입과 고보호 구조 타입 용도에 맞게 선택 가능
• 출력 동작 변환 기능으로 모드 설정이 자유자재
• 감도 변환 기능으로 Φ6~13mm, 두께 1mm의 투명, 반투명 파이프에 대응
• 클린 코드(분체 박리제 없음) 채용으로 클린 룸에서도 사용 가능
• 전원 전압은 DC12~24V
OMRON 누름 버튼 타입 EE-SA801
누름 버튼식을 채용하여 검출하기 어려웠던 물체를 확실하게 검출 가능
• 반도체 FOUP 카세트의 규격에 준거하여 바닥면의 재질, 색, 반사율의 영향을 받지 않고 FOUP 카세트의 도착을 확실히 검출
• 박형 설계로 반송 암(arm) 등에도 탑재 가능
• 4방향 표시등으로 시인성 향상
• 액추에이터의 동작을 광학적으로 검출하여 수명이 길어짐(기계적 수명 500만 회 이상)
• NPN/PNP 양출력 타입을 라인 업
OMRON 웨이퍼 캐리어 착석 센서 EE-SPY801/802
웨이퍼 커리어의 착좌 검지
• 가이드와 병용하여 착좌 위치를 설정
• 웨이퍼 캐리어와의 접촉면은 내약품성이 뛰어난 불소 수지를 사용
• 독자적인 광학계로 대부분의 웨이퍼 캐리어에서 안정적으로 검지
• 외란광에 강한 변조광 방식
• 코드는 클린 코드(탤크 가루 없음)를 사용
